大連榕樹光學有限公司

RU 系列增量式光柵尺


             RU 系列增量式光柵尺由RU2系列讀數頭和尺身組成。RU2讀數頭采用大面積單場掃描技術,保證了其出色的抗污染能力,2mm的大安裝間距保證了快速安裝同時又實現了更大的容差。實時自動增益控制保證了在各種環境下工作的穩定性。高達1000倍的內部細分可滿足各種控制器的需求。相位光柵和單場掃描在保證抗污染的同時更保證了優秀的李沙育圓度,降低了細分的誤差。


    LAMOTION讀數頭

    最高分辨率20nm
    高帶寬、低細分誤差
    自動增益控制,提供更穩定的信號輸出
    多色指示燈提示信號強度,安裝方便
    內置原點和限位
    SinCos 1Vpp或差分TTL多種接口可選



    Lissajous-Figur

            與RU2讀數頭配合使用的RUS鋼帶柵尺采用了超硬高彈且抗腐蝕的特種基材,優秀的機械和化學特性保證了其長期使用的穩定可靠,利用先進的激光干涉刻線工藝,可實現20微米柵距的精細刻劃,并保證小于40納米的刻線誤差。這是確保RUS柵尺異常強大的精度基礎。尺身自帶背膠,利用貼尺工具可以實現快速安裝。


    高精度±5um/m
    小尺寸 0.2 mm 厚度 × 8 mm 寬度
    低膨脹系數 10.5um/m/℃
    背膠安裝 快速粘貼
    耐化學腐蝕
    50m超長供貨長度





            除RUS柵尺之外榕樹光學還為更高精度應用場合提供RUE超高精度低膨脹率的硬柵尺,相比RUS鋼帶尺,刻線容差縮減到30納米以內,同種每米線性誤差不超過2微米。低至1.2微米/米/度的膨脹系數可以在不同溫度下有更好的精度。



    RU系列光柵尺應用


    半導體工業測量生產設備
    PCB生產加工設備
    全閉環機床
    坐標測量機和影像對比儀
    直線運動平臺,測量顯微
    鏡及其他精密設備




    直線電機運動平臺
    坐標測量機


    RU增量型光柵尺參數表
    柵距
    20um
    分辨率
    5um/1um/0.5um/0.1um/50nm/20nm
    精度
    ±5um/m
    測量速度
    小于12m/s
    尺寸
    0.2mm厚×8mm寬
    測量加速度
    35g
    背膠尺寸
    0.2mm厚×6mm寬
    柵距誤差
    <30nm
    光柵長度
    <50m



    RU系列光柵尺演示視頻

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