大連榕樹光學有限公司

FL 系列光纖激光尺


           FL-10光纖激光干涉尺是一種超高精度位置閉環反饋系統。利用與激光干涉儀相同的測量原理加上特有的實時環境補償技術,使整個系統達到與激光干涉儀相同的位置反饋精度。
           測量探頭采用光纖傳導方式與主機相連使得探頭體積小巧,安裝靈活,同時斷絕了熱輻射對測量精度的影響。經過補償后的位置數據通過標準的TTL和SinCos信號輸出,幾乎可以與任何控制器連接。
           低于300ns的時間延遲保證了超高的帶寬,滿足超高精度,同時也得到了比傳統光柵尺更大動態范圍。

    FL-10光柵激光尺系統





    分  辨 率:50pm -1um
    精      度:0.8ppm
    測量范圍:0-4m(更長范圍可定制)
    測量速度:大于1m/s(更快速度可定制)
    補償功能:環境溫度、壓力、濕度、材料溫度




    FL-10激光尺探頭
    光導纖維


    光纖激光尺組件:





    激光尺主機
     激光探頭與角錐反射鏡




    環境補償基站(選配)
    環境溫度傳感器(選配)




    環境壓力濕度傳感器(選配)
    材料溫度傳感器(選配)




    光纖激光尺應用



    超高精度機床應用
        應用于超高精度機床,可以實現單軸4m的測量行程、1m/s的測量速度,兼容通用位置反饋接口形式(差分TTL,SinCos1Vpp,BISS),配合環境補償模塊,可以實現更高測量精度!



    半導體 生物工程應用 光刻機、基因測序設備等。



    高精度運動平臺應用
        可直接作為超高精度直線電機、氣浮電機等運動平臺的反饋設備,提高運動平臺的控制精度。


    其他測量設備使用
        光纖激光干涉尺還可以用在絲杠導程誤差動態測量設備、測長儀等設備中。


                       

    光纖激光尺參數

    光纖激光干涉尺參數表
    測量精度
    0.8ppm(0.8um/m)
    電源
    DC 24V±2V,3A(MAX)
    分辨率
    0pm-1um(TTL)
    20-1um(SinCos 1Vpp)
    數字接口
    差分TTL        2.5M
    測量行程
    0~4m(更長可定制)
    模擬接口
    SinCos 1Vpp    600K
    測量速度
    ≥1m/s(更快可定制)
    串行協議
    BiSS           8M
    響應時間
    <300ns
    計算機接口
    USB            2.0
    真空波長精度
    0.05ppm(24小時)
    0.1ppm(3年)
    原點鎖存接口
    光耦輸入
    激光探頭尺寸
    35×51×83mm
    工作溫度
    5℃~40℃
    反射鏡類型
    平面、角錐、差分型
    工作壓力
    70KPa~115KPa
    激光對準調整范圍
    ±2°
    工作濕度
    0~95% RH(非凝露)


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